ウェーハ研磨ヘッド

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-071210
公開番号（公開出願番号）：特開2001-260004
出願日： 2000年03月14日
公開日（公表日）： 2001年09月25日
要約：

【要約】【課題】従来に比較して小さい押圧圧力によりウェーハを均一に研磨パッドに押圧できるウェーハ研磨ヘッドを提供する。【解決手段】ヘッド本体6と、ヘッド本体6内に張られたダイヤフラム7と、流体室17に満たされた流体圧力を調整する第一の圧力調整機構9と、ダイヤフラム7に固定されて、その下面8aにおいて研磨すべきウェーハWの一面を保持するキャリア8と、ダイヤフラム7に固定されて、研磨時には研磨パッドに当接するリテーナリング20とを具備したウェーハ研磨ヘッド1において、キャリア下面8aにおけるリテーナリング20に囲まれた位置に、弾性膜22を張設し、キャリア8に、キャリア下面8aと弾性膜22との間に流体を供給するための流体供給路25を設け、流体供給路25に、キャリア下面8aと弾性膜22との間に供給される流体の圧力を調整するための第二の圧力調整機構10を接続した。

請求項（抜粋）：

天板部と該天板部の外周下方に設けられた筒状の周壁部とからなるヘッド本体と、前記ヘッド本体内にヘッド軸線に対し垂直に張られたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムと前記ヘッド本体との間に形成される流体室に満たされた流体圧力を調整する第一の圧力調整機構と、前記ダイヤフラムに固定されてダイヤフラムとともにヘッド軸線方向に変位可能に設けられ、その下面において研磨すべきウェーハの一面を保持するキャリアと、前記周壁部の内壁と前記キャリアの外周との間に同心状に配置されるとともに、前記ダイヤフラムに固定され前記ダイヤフラムとともにヘッド軸線方向に変位可能に設けられ、研磨時には研磨パッドに当接するリテーナリングとを具備したウェーハ研磨ヘッドにおいて、前記キャリア下面における前記リテーナリングに囲まれた位置には、弾性膜が張設され、前記キャリアには、該キャリア下面と前記弾性膜との間に流体を供給するための流体供給路が設けられるとともに、該流体供給路には、前記キャリア下面と前記弾性膜との間に供給される流体の圧力を調整するための第二の圧力調整機構が接続されていることを特徴とするウェーハ研磨ヘッド。

IPC (3件)：

B24B 37/00 , B24B 37/04 , H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/00 B , B24B 37/04 J , H01L 21/304 622 K

Fターム (9件)：

3C058AA07 , 3C058AB04 , 3C058BA05 , 3C058BB04 , 3C058BC01 , 3C058CA01 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058DA12

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