特許
J-GLOBAL ID：200903046091523677
顕微鏡自動焦点位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-326826
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184747
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 位相差顕微鏡等の輪帯照明系を有する顕微鏡において、非全走査式コントラスト法を用いても正確にコントラストの最大値を与える位置を検出することが可能な顕微鏡自動焦点位置検出装置を提供する。【構成】 本発明の装置は、図示しない輪帯照明系からコンデンサレンズ2へ導く照明光の開口数を決定するための輪帯開口1と、コンデンサレンズ2からの光により照明される観察試料を載置するためのステージ3と、この試料の像を撮像素子6へ導くための対物レンズ4及び結像レンズ5と、撮像素子6から送出された電気信号の電圧を増幅するためのプリアンプ10と、プリアンプ10からの信号をA/D変換してCPU8へ導くためのA/Dコンバータ9と、CPU8により生成された信号に基づきステージ3を移動させるための調整手段7と、により構成されている。
請求項（抜粋）：
被観察試料の像を形成するための光学系と、該光学系で得られる光学像を光電変換する撮像素子と、該撮像素子から得られる電気信号をA/D変換した画像データを記憶させ該画像データを処理してコントラストを計算する装置と、前記コントラストを比較する装置と、結像系レンズ又は試料台を移動させる装置と、該結像系レンズ又は試料台の位置を記憶させる装置と、を具備し、現在位置での画像コントラストと所定距離だけ対物レンズ又は被観察試料を光軸方向に移動した位置でのコントラストとを比較し、その変化量等から次に前記結像系レンズ又は試料台の移動すべき距離を決定し、その移動すべき距離,コントラスト変化量等が一定値以下となればその位置を焦点位置と判断する自動焦点位置検出装置において、被観察試料の像を形成するための輪帯照明系を有する顕微鏡光学系を備え、前記自動焦点位置検出装置で合焦位置と判断した位置と、該位置から対物レンズの開口数と前記照明系の輪帯の対物瞳での共役像の内径及び外径で夫々決定される二つの開口数の前記対物レンズの開口数に対する比と前記撮像素子の大きさ又はその整数倍の大きさで決定される一つの周波数ν0 とにより求められる合焦・偽合焦位置間距離と同間隔だけ対物レンズ・試料間の間隔を変え、前記合焦・偽合焦位置間の少なくとも一箇所でコントラスト測定を行い、測定したコントラスト値の比較により合焦位置を検出するようにしたことを特徴とする顕微鏡自動焦点位置検出装置。
IPC (2件)：
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