特許

J-GLOBAL ID：200903046094175807

ラマンスペクトル測定装置及び測定方法

発明者： 石塚 典男 ,  西村 朝雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-151315
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005237
出願日： 1995年06月19日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】本発明のラマンスペクトル測定装置は、極微小パタ-ンにおける測定位置の特定化とその位置のラマンスペクトルの測定を行うことを目的とする。【構成】本発明のラマンスペクトル測定装置は、光源1と対物レンズ4,分光器6,検出器7,カメラ5を光源1の光路上に順次備え、更に水平面内,垂直面内に移動可能なステ-ジ10と探針8及び変位測定器9と制御装置11を備えている。

請求項（抜粋）：

光源と対物レンズ,分光器,検出器,カメラを光源の光路上に備えたラマンスペクトル測定装置において、対物レンズの横に探針及び変位測定器を備え、更に対物レンズと探針の下には水平面内,垂直面内に移動可能なステ-ジを備えることを特徴とするラマンスペクトル測定装置。