特許
J-GLOBAL ID:200903046100628797

プリント基板のパターン検査装置およびパターン検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 福島 祥人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-012728
公開番号(公開出願番号):特開平9-203620
出願日: 1996年01月29日
公開日(公表日): 1997年08月05日
要約:
【要約】【課題】 プリント基板の配線パターンにおけるネック切れを正確に検査することができるパターン検査装置およびパターン検査方法を提供することである。【解決手段】 パターン切り出し部24は、中心座標・直径算出部23により算出された中心座標および直径に基づいてパターン画像データPDからランドを十分に含む大きさの領域の画像データを抽出する。ライン切れ認識部26は、正規化された画像データにおいてエッジ抽出フィルタにより配線パターンのエッジを予め定められた方向成分ごとにエッジ画像データとして分解抽出し、ぼかし処理および間引き処理を行いつつ階層的な積和型フィルタにより複数のエッジ画像データを統合し、ライン切れに相当する形状に近似する程度を示す出力値を算出する。しきい値判定部27は、ライン切れ認識部26の出力値を所定のしきい値と比較することによりネック切れの有無を判定する。
請求項(抜粋):
配線部およびランドを有する配線パターンが形成され、前記ランドにスルーホールが設けられたプリント基板のパターン検査装置であって、前記配線パターンの画像および前記スルーホールの画像をそれぞれパターン画像データおよびスルーホール画像データとして入力する入力手段と、前記入力手段により入力された前記スルーホール画像データにおける前記スルーホールの中心位置および径を算出する算出手段と、前記算出手段により算出された中心位置および径に基づいて前記入力手段により入力されたパターン画像データから前記ランドを含む領域の画像データを抽出する抽出手段と、前記抽出手段により抽出された画像データにおいて前記配線パターンのエッジを予め定められた方向成分ごとにエッジ画像データとして分解抽出し、抽出された複数のエッジ画像データに基づいて前記配線部の切れに相当する形状を認識する認識手段と、前記認識手段の認識結果に基づいて前記配線パターンにおけるネック切れを判定する判定手段とを備えたことを特徴とするプリント基板のパターン検査装置。
IPC (4件):
G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 9/20
FI (4件):
G01B 11/24 F ,  G01N 21/88 F ,  G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/70 335 Z

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