特許

J-GLOBAL ID：200903046104745380

干渉性変調素子を用いた投影光学系

発明者： 小林 秀一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-246389
公開番号（公開出願番号）：特開2002-062492
出願日： 2000年08月15日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：

【要約】【課題】 干渉性変調(IMOD)素子の発熱を低減するとともに、そのIMOD素子を使用して、明るい画像投影装置を提供する。【解決手段】 基板ガラス1や伝熱体7が、各画素9a、9b、9cに対して共通に取り付けられている。これによって、基板構造が簡素化される。伝熱体7を共振層5の側面に配置したことにより、表示素子における開口効率は低下しているが、1次元構造としたことにより、開口効率の低下を抑えることができる。また、各画素の駆動用の回路なども、共振層5の側面に配置することが可能となる。

請求項（抜粋）：

干渉を利用して光変調を行う干渉性変調素子であって、放熱手段を有することを特徴とする干渉性変調素子。

IPC (3件)：

G02B 26/06 ,  G02B 27/18 ,  G09F 9/00 304

FI (3件)：

G02B 26/06 ,  G02B 27/18 Z ,  G09F 9/00 304 B

Fターム (14件)：

2H041AA05 ,  2H041AA06 ,  2H041AA07 ,  2H041AA23 ,  2H041AB15 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08 ,  5G435AA12 ,  5G435BB17 ,  5G435GG10 ,  5G435GG44 ,  5G435KK05