特許
J-GLOBAL ID：200903046105088103
水素化アモルファスカーボン膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
磯野 道造
, 多田 悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-229766
公開番号（公開出願番号）：特開2009-062206
出願日： 2007年09月05日
公開日（公表日）： 2009年03月26日
要約：
【課題】低面粗度による低い相手攻撃性を有するばかりでなく、高硬度を有し、さらに、優れた耐磨耗性を有するとともに、従来のPVD法よりも生産性が高く、膜の着き回り性に優れるCVD法によって製造できるため、低コストを実現できる水素化アモルファスカーボン膜の提供。【解決手段】プラズマCVD法によって炭化水素ガスから得られる水素化アモルファスカーボン膜であって、Arレーザ(波長:488nm)によるラマン分光分析によって測定されるラマンスペクトルのGバンドシフトが1550〜1559cm-1、かつGバンド半値幅が180〜197cm-1であることを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
プラズマCVD法によって炭化水素ガスから得られる水素化アモルファスカーボン膜であって、
Arレーザ(波長:488nm)によるラマン分光分析によって測定されるラマンスペクトルのGバンドシフトが1550〜1559cm-1、かつGバンド半値幅が180〜197cm-1であることを特徴とする水素化アモルファスカーボン膜。
IPC (3件)：
C01B 31/02
, C23C 16/505
, C23C 16/27
C01B31/02 101Z
, C23C16/505
, C23C16/27
4G146AA05
, 4G146AA17
, 4G146AB07
, 4G146AC23A
, 4G146AC23B
, 4G146AD02
, 4G146AD26
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BC09
, 4G146DA02
, 4G146DA16
, 4K030AA06
, 4K030AA09
, 4K030BA28
, 4K030BB13
, 4K030CA02
, 4K030CA03
, 4K030FA04
, 4K030JA05
, 4K030KA20
