特許
J-GLOBAL ID：200903046107813387
レーザ加工装置及びレーザ加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-224927
公開番号（公開出願番号）：特開平8-090273
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：
【要約】【目的】 良好に貫通穴を加工すること。【構成】 被加工物9を加工テーブル20上に配置し、ロータリーポンプを駆動して、エアーバキューム穴11に負圧を発生させて、加工テーブル20に被加工物9を固定する。加工テーブルには、エキシマレーザビーム照射位置に凹部12が設けられ、さらにその上面に合成石英ガラス板13が接合されている。よって、貫通穴加工時においてエキシマレーザビーム2は前記合成石英ガラス板13を透過するため、加工テーブル20でのエキシマレーザビーム2の反射はなく、エキシマレーザビーム出射側の貫通穴14周辺にダメージが発生しない。
請求項（抜粋）：
レーザ光を用いて被加工物に貫通穴を加工するレーザ加工装置において、前記被加工物を支持し、被加工物の貫通穴形成位置にレーザ光透過部を有する支持部材を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (4件)：
B23K 26/10
, B23K 26/00 330
, B23K 37/04
, B41J 2/135
