特許

J-GLOBAL ID：200903046118394564

静電容量型圧力センサ

発明者： 中尾 悟志 ,  野村 和雄 ,  舘 敏夫
出願人/特許権者： 北陸電気工業株式会社
代理人 (1件)： 廣澤 勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-254577
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094470
出願日： 1994年09月21日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】 簡単な構成で、電気的接続が確実であり、取扱も容易なものにする。【構成】 流体の圧力が印加される絶縁体のダイヤフラム11と、このダイヤフラム11の裏面に平面的に形成されたダイヤフラム側電極13と、ダイヤフラム11と一定間隔を隔てて対面して設けられた絶縁体のベース基板12と、このベース基板12の表面に形成され、ダイヤフラム側電極13と対面して同様に設けられたベース側電極14とを有する。ダイヤフラム側電極13とベース側電極14に各々ダイヤフラム11及びベース基板12の側面部まで伸びた延長部16,17が形成され、ベース基板12の側面に沿って各延長部16,17に接続しベース基板12の裏面側に伸びた配線24を備える。

請求項（抜粋）：

流体の圧力が印加される絶縁体のダイヤフラムと、このダイヤフラムの裏面に平面的に形成されたダイヤフラム側電極と、上記ダイヤフラムと一定間隔を隔てて対面して設けられたベース基板と、このベース基板の表面に形成され上記ダイヤフラム側電極と対面して同様に設けられたベース側電極と、上記ダイヤフラム側電極とベース側電極から延長して形成され各々上記ダイヤフラム及びベース基板の側面部まで伸びた延長部と、一端が上記ベース基板の側面に沿って上記各延長部に接続し他端が上記ベース基板の上記ダイヤフラムとは反対側に延びた配線を設けた静電容量型圧力センサ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-134570
  
• 特開平2-134570
  
• 特開平2-134570
  
• 特開平2-134570