特許

J-GLOBAL ID：200903046131383342

液浸差動排液静圧浮上パッド、原盤露光装置および液侵差動排液による露光方法

発明者： 安芸 祐一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (2件)： 角田 芳末 ,  磯山 弘信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-148040
公開番号（公開出願番号）：特開2004-349645
出願日： 2003年05月26日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：

【課題】液浸対物レンズを用いてレンズの開口率を上げると共に、周囲に液が飛び散らないようにした。【解決手段】液浸差動排液静圧浮上パッド3は、液浸対物レンズ9の周囲の液浸部7に正圧部17からの圧縮気体を介して液体を供給可能な供給部16と、複数の環状吸引溝5,6から負圧部18からの圧縮気体の吸引により液体を吸引して排液可能な排液部14と、原盤10に対する反射レーザー照射光の検出機構20によりレーザー照射光が合焦状態となるように液浸対物レンズ9をアクチュエータ21により原盤10に対して対向する方向に進退させる制御部19を有して構成される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

レーザー照射手段からの照射光を光学系を介して回転機構およびスライド機構により回転移動およびスライド移動する原盤に露光可能に照射するものであって、 上記原盤に対して微小間隔をもって対向し、上記原盤に照射光を照射するための出射孔を有し、上記出射孔に連通する照射光の通路の周囲に上記原盤との対向面に開口する複数の環状吸引溝が形成され、上記吸引溝の周囲に環状気体排出軸受け部が形成される静圧浮上パッドに対して、 上記照射光の通路に設けられ、駆動手段により上記原盤に対して対向する方向に進退可能に構成され、高屈折率の液体を含浸した液浸状態とすることにより高開口率の対物レンズとして機能する液浸対物レンズと、 上記液浸対物レンズの周囲の液浸部に液体を供給可能な供給手段と、 上記複数の環状吸引溝から液体を吸引して排液可能な排液手段と、 上記レーザー照射手段、上記回転機構および上記スライド機構ならびに上記排液手段および上記供給手段を制御すると共に、上記原盤に対する反射照射光の検出により上記照射光が合焦状態となるように上記液浸対物レンズを上記駆動手段により上記原盤に対して対向する方向に進退させる制御手段と を備えた液浸差動排液静圧浮上パッド。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G11B7/26

FI (3件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 505 ,  G11B7/26 501

Fターム (9件)：

2H097BA01 ,  2H097BA02 ,  2H097CA17 ,  2H097LA20 ,  5D121BB21 ,  5D121BB38 ,  5F046CB01 ,  5F046CB25 ,  5F046DA14