特許

J-GLOBAL ID：200903046131753263

静電チャックとその製造方法

発明者： 成木 紳也 ,  向井 俊夫
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 岸田 正行 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-101249
公開番号（公開出願番号）：特開平11-294455
出願日： 1998年04月13日
公開日（公表日）： 1999年10月26日
要約：

【要約】【課題】 高い吸着特性を有する静電チャック用誘電体を安定的に提供する。【解決手段】 絶縁体基盤、導体層、誘電体からなる静電チャックにおいて、誘電体がTi2 O3 を0.2重量%以上、1.0重量%以下含有するAl2 O3からなることを特徴とする静電チャック。誘電体の体積固有抵抗率が109 〜1013Ω・cmの範囲に容易に制御することができ、高い吸着力の静電チャックを製造できる。

請求項（抜粋）：

上層にセラミックスからなる誘電体、中層に電極、下層にセラミックスからなる絶縁体基盤を備えたセラミックス静電チャックにおいて、Ti2 O3 を0.2重量%以上、1.0重量%以下含有するAl2 O3 基セラミックスを誘電体とすることを特徴とする静電チャック。

IPC (5件)：

F16C 32/04 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 35/111 ,  H01L 21/68 ,  H02N 13/00

FI (5件)：

F16C 32/04 Z ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D ,  C04B 35/10 D

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 静電チャック部材およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-223149   出願人：トーカロ株式会社