特許
J-GLOBAL ID：200903046143789492
冷凍機を用いた試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千田 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-063909
公開番号（公開出願番号）：特開平9-229997
出願日： 1996年02月27日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【課題】 冷凍機を用いて極低温の試験環境を設定する試験装置において、プローバーによる試験対象物の電気的特性等の試験を振動のない環境下で行う。【解決手段】 冷凍機8と床面17に載置した平衡錘18とを、高強度アングルフレーム22を介して連結して、冷凍機8と平衡錘18とを剛体化して、冷凍機8の振動を極力防止する。平衡錘18の収納台19の底面と床面17との間に、防振パッド21を介在させる。床面17に支持されるフレーム2の上面にゴム製のダンパー23を介して支持される上壁プレート3上に、チャンバー4とプローバー作動装置7とを支持させる。フレーム2と床面17との間に防振パッド25を介装する。これにより、冷凍機8を振動源とする振動が、チャンバー4とプローバー6の作動装置7に伝達されるのを極力防止できると共に、冷凍機8の振動が、直接冷却ヘッド9及び伝熱体を介してホルダー10に伝達されるのを防止することができる。
請求項（抜粋）：
設置面に支持される支持台上に配設されるチャンバーと、該チャンバー内に挿入されるプローブを有する試験用プローバーの作動装置と、支持台に形成された取付孔に、冷却ヘッドを該取付孔からチャンバー内に臨ませて固定配設されると共に、該冷却ヘッドがチャンバー内に配設された試験対象物ホルダーに伝熱体を介して接続され、プローバーによる試験時にホルダーを介して試験対象物を冷却することができる冷凍機と、を有する冷凍機を用いた試験装置において、前記冷凍機を設置面に載置した平衡錘と連結すると共に、前記支持台と設置面との間、及び前記平衡錘と設置面との間に防振部材を介在させたことを特徴とする冷凍機を用いた試験装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01R 31/26 H
, H01L 21/66 H
, H01L 21/66 B
