特許
J-GLOBAL ID：200903046146713055
集団の特性代表値の算出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮本 治彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-312554
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145713
出願日： 1994年11月21日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】SAW-Rデバイスのインピーダンスの調整をウェハ単位で行う場合に、調整後のインピーダンスが検査合格範囲に入るデバイスの個数をできるだけ多くし、歩留りをより高くできる集団の特性代表値の算出方法を提供する。【構成】SAW-Rデバイスのインピーダンスの度数分布を求め、この度数分布において、仮のインピーダンス代表値Dを定めこの仮のインピーダンス代表値Dと検査合格範囲とに基づいて定められる幅HD を有する度数計数枠WD を定めてこの度数計数枠WD に入るインピーダンスの度数を計数し、次にインピーダンス代表値を移動させ同様にして新たな度数計数枠を定めて移動毎に度数計数手順を繰り返して行い、度数が最大の値であったときの仮のインピーダンス代表値Dをウェハのインピーダンス代表値とする
請求項（抜粋）：
複数の被検査物から構成される集団単位で、前記被検査物の特性が検査合格範囲に入るように、前記被検査物の特性調整を行う場合に用いられる前記複数の被検査物の特性を代表する特性代表値を求める方法であって、前記集団に属する前記被検査物の特性を測定して、前記被検査物の特性値の度数分布を得、前記特性値の度数分布において、まず、最初の仮の特性代表値を定め、前記最初の仮の特性代表値と前記検査合格範囲とに基づいて決定され前記最初の仮の特性代表値を包含する最初の度数計数枠を定め、前記最初の度数計数枠に入る前記特性値の度数を計数し、次に、前記特性値の度数分布において、所定の規則に従って次の仮の特性代表値を定め前記次の仮の特性代表値と前記検査合格範囲とに基づいて決定され前記次の特性代表値を包含する次の度数計数枠を定めて前記次の度数計数枠に入る前記特性値の度数を計数する度数計数手順を、前記特性値の所定の範囲内において繰り返して行い、計数された度数が最大の値であったときの前記仮の特性代表値を前記集団の特性代表値とすることを特徴とする集団の特性代表値の算出方法。
IPC (2件)：
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