特許
J-GLOBAL ID：200903046148077440
IC試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-257169
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104308
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：
【要約】【課題】 複数設けられたテストステーションが互いに独立して動作することができるIC試験装置を提供すること。【解決手段】 ソリッドステートリレー11は、各テストステーションに設けられ、第1の電源9及び第2の電源10に対するAC200V供給のON/OFF制御を行う。また、各テストステーションのアナログ回路7及びピンエレクトロニクス部8は、それぞれ、IC試験装置本体2のDC部5とテスタバスで接続されている。同様に、各テストステーションのアナログ回路7及びピンエレクトロニクス部8は、それぞれ、IC試験装置本体2のLS部6とテスタバスで接続されている。そのため、片方のテストステーションのソリッドステートリレー11のみをONにした場合であっても、該テストステーションの各ユニットはIC試験装置本体2との間でデータのやり取りを行うことができる。
請求項（抜粋）：
制御手段からの信号に基づいてIC(集積回路)の特性を測定するテストステーションを2台以上有するIC試験装置において、各テストステーションは、前記制御手段からの信号に基づいてICの特性を測定する測定ユニットと、前記測定ユニットに対して電源電圧を供給する電源と、前記電源のON/OFFの制御を行う電源制御手段とを具備することを特徴とするIC試験装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 G
, G01R 31/28 H
