特許
J-GLOBAL ID：200903046151603241
導電性ボールの移載方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-108783
公開番号（公開出願番号）：特開平10-303250
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 導電性ボールのピックアップミスや移載ミスを解消し、確実にボールをワークの電極上に移載することができる導電性ボールの移載方法を提供することを目的とする。【解決手段】 吸着ツール26に振動子29を装着し、導電性ボール1を真空吸着する際およびまたは導電性ボールを真空吸着解除して移載する際に予め設定された周波数範囲内で周波数を変化させながら振動子29を作動するので、振動数を変化させる過程のいずれかの時点で吸着ツール26の下面の各部分に振動子29の振動周波数との共振を起こさせることができ、この共振による大きな振幅の振動により、吸着ツール26下面に余分に付着した導電性ボール1aを確実に脱落させ、ピックアップミスや移載ミスを解消することができる。
請求項（抜粋）：
吸着ヘッドに導電性ボールの供給部に対して上下動作を行わせてこの吸着ヘッドの下面に形成された複数個の吸着孔に導電性ボールを真空吸着してピックアップし、次いで吸着ヘッドをワークの上方に相対的に移動させそこで吸着ヘッドに再度上下動作を行わせるとともに、真空吸着状態を解除することにより、前記吸引孔に真空吸着された導電性ボールをワークに移載するようにした導電性ボールの移載方法であって、吸着ヘッドが上下動作を行って供給部の導電性ボールを真空吸着してピックアップする際およびまたは真空吸着状態を解除して導電性ボールをワークに移載する際に、振動付与手段により設定された周波数範囲内で振動周波数を変えながら吸着ヘッドを振動させることにより吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを下面から脱落させることを特徴とする導電性ボールの移載方法。
IPC (3件)：
H01L 21/60 311
, B65G 47/91
, H05K 3/34 505
H01L 21/60 311 S
, B65G 47/91 A
, H05K 3/34 505 A
