硬質膜被覆部材

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-211488
公開番号（公開出願番号）：特開平7-062543
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：

【要約】【構成】炭化窒素の結晶相を主成分とする硬質膜を基体表面に0.5〜50μmの厚みで被覆してなる硬質膜被覆部材であって、前記基体中に金属炭化物および/または金属窒化物を含むことを特徴とするものであり、かかる構成の被覆部材を切削工具として用いる。【効果】密着性が高めるとともに、膜の結晶性を高めることができ、炭化窒素膜の優れた性質を十分に発揮することができる。また、この被覆部材は高硬度を有し化学的に安定で、耐摩耗性や摺動性が要求される部品や切削工具として、そのその寿命を飛躍的に増大させることができる。

請求項（抜粋）：

炭化窒素の結晶相を主成分とする硬質膜を基体表面に0.5〜50μmの厚みで被覆してなる硬質膜被覆部材であって、前記基体中に炭素原子および/または窒素原子を含むことを特徴とする硬質膜被覆部材。

IPC (4件)：

C23C 16/36 , B23P 15/28 , C23C 14/06 , B23B 27/14

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