特許

J-GLOBAL ID：200903046163983821

薄膜構造の検査方法及び検査装置

発明者： オツトー アルブレヒト ,  江口 健
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-178686
公開番号（公開出願番号）：特開平5-001997
出願日： 1991年06月24日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 有機薄膜の構造欠陥を光学的に高精度に検査することができる薄膜構造の検査方法及び検査装置を得ること。【構成】 平滑な薄膜1を成膜した平坦な基板2を載置する支持台3と、該薄膜1に該基板面に対して平行方向又は略平行方向から光束を照射する光源手段4と、該薄膜1から該基板面に対し垂直又は略垂直方向に散乱した散乱光を用いて該薄膜構造に関する画像情報を撮像手段面上に結像する結像手段と、該撮像手段で得られた画像情報を利用して該薄膜構造の検査を行う画像処理手段12とを有していること。

請求項（抜粋）：

平坦な基板上に成膜した平滑な薄膜に光源手段からの光束を該基板面に対して平行方向又は略平行方向より照射し、該薄膜から該基板面に対し垂直又は略垂直方向に散乱した散乱光を利用することにより、該薄膜構造の検査を行ったことを特徴とする薄膜構造の検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G06F 15/62 405 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-165738
  
• 特開昭48-088982
  
• 特開昭63-061150