特許
J-GLOBAL ID：200903046164982993
ペリクル枠
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-173687
公開番号（公開出願番号）：特開平5-341502
出願日： 1992年06月09日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 ペリクル膜を接着する際に膜の切れが発生せず、ペリクルの張り替え時にマスクを傷付けることがなく、内側面の粘着剤層が均一に形成可能であるペリクル枠を提供する。【構成】 ペリクル膜接着面と外側面および内側面、マスク接着面と外側面および内側面によりそれぞれ形成される4つの角が面取りされており、かつ、外側面、内側面のそれぞれ4つのコーナー部が曲面であるペリクル枠。
請求項（抜粋）：
ペリクル膜接着面と外側面および内側面、マスク接着面と外側面および内側面によりそれぞれ形成される4つの角が面取りされており、かつ、外側面、内側面のそれぞれ4つのコーナー部が曲面であることを特徴とするペリクル枠。
IPC (2件)：
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