特許

J-GLOBAL ID：200903046168030792

流量測定装置およびそれを用いた処理液供給装置

発明者： 足立 秀喜
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-327547
公開番号（公開出願番号）：特開平10-153464
出願日： 1996年11月21日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】 管路を流れる流体に所定位置で振動を発生させてその振動を所定位置だけ離れた位置で受信することにより流体の流量を測定する方式において、流量測定における必要な精度を確保しつつ、管体および複数の振動子から構成される計測部の設置スペースを小さくできる流量測定装置を提供する。【解決手段】 管体36に、管内を流れる流体にパルス的に振動を発生させおよび流体の振動を受信する一対の振動子40、42を互いに所定の距離を隔てて取着した装置において、第1振動子40の取着位置と第2振動子42の取着位置との間の管体36を螺旋状に形成した。

請求項（抜粋）：

所定の内径を有する管体に取着され、管内を流れる流体にパルス的に振動を発生させおよび流体の振動を受信する第1振動子と、前記管体に、前記第1振動子の取着位置から所定の距離を隔てた位置で取着され、管内を流れる流体にパルス的に振動を発生させおよび振動を受信する第2振動子と、前記第1振動子により流体に振動を発生させた時点から前記第2振動子に流体の当該振動が受信された時点までの時間と、前記第2振動子により流体に振動を発生させた時点から前記第1振動子に流体の当該振動が受信された時点までの時間との差により、前記管体の管内を流れる流体の流速を求めて流体の流量を算出する演算手段と、を備え、前記第1振動子の取着位置と前記第2振動子の取着位置との間の前記管体を、螺旋状、U字状または蛇行状に形成したことを特徴とする流量測定装置。