特許

J-GLOBAL ID：200903046172711710

ウエハの移載装置

発明者： 和田 篤
出願人/特許権者： 東京エレクトロン相模株式会社
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-188340
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013547
出願日： 1991年07月03日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：

【要約】【目的】 熱処理用ウエハ保持具におけるリング状ウエハ支持板間のピッチを小さくすることができるウエハの移載装置であって、しかも、ウエハを突き上げるための高さ方向のスペースが小さいウエハの移載装置を提供することにある。【構成】 複数のリング状ウエハ支持板が上下方向に配列されている熱処理用ウエハ保持具とウエハ収納容器との間でウエハを移載するウエハの移載装置であって、ウエハ収納容器から搬出したウエハを複数のリング状ウエハ支持板の各々へ搬入するとともに、複数のリング状ウエハ支持板の各々から搬出したウエハをウエハ収納容器へ搬入する移載手段と、熱処理用ウエハ保持具の複数のリング状ウエハ支持板によって囲まれた空間内を昇降可能に設けられたウエハ突き上げ機構とを備えてなり、前記ウエハ突き上げ機構は、ウエハ突き上げ盤と、このウエハ突き上げ盤を昇降させる第1の昇降手段と、この第1の昇降手段を昇降させる第2の昇降手段とを有していることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

複数のリング状ウエハ支持板が上下方向に配列されている熱処理用ウエハ保持具とウエハ収納容器との間でウエハを移載するウエハの移載装置であって、ウエハ収納容器から搬出したウエハを複数のリング状ウエハ支持板の各々へ搬入するとともに、複数のリング状ウエハ支持板の各々から搬出したウエハをウエハ収納容器へ搬入する移載手段と、熱処理用ウエハ保持具の複数のリング状ウエハ支持板によって囲まれた空間内を昇降可能に設けられたウエハ突き上げ機構とを備えてなり、前記ウエハ突き上げ機構は、ウエハ突き上げ盤と、このウエハ突き上げ盤を昇降させる第1の昇降手段と、この第1の昇降手段を昇降させる第2の昇降手段とを有していることを特徴とするウエハの移載装置。