特許
J-GLOBAL ID:200903046175876583
疵検査用照明装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢葺 知之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-032892
公開番号(公開出願番号):特開2001-221745
出願日: 2000年02月10日
公開日(公表日): 2001年08月17日
要約:
【要約】【課題】 疵検査装置を、検査対象に近接設置が困難な検査対象であって、かつ検査対象の表面が、鏡面から拡散面まで大幅に変化するような場合であっても、容易に疵検査を可能とする。【解決手段】 検査対象を照明し、電子カメラにて撮像して得られる電気信号を処理して、疵部分を検出する光学的表面疵検査装置に用いる疵検査用照明装置において、照明と検査対象の間に、電気的にヘイズ率を制御できる光散乱度制御板13を配置し、ヘイズ率を制御できるようにした。
請求項(抜粋):
検査対象を照明し、電子カメラにて撮像して得られる電気信号を処理して、疵部分を検出する光学的表面疵検査装置に用いる疵検査用照明装置において、照明と検査対象の間に、電気的にヘイズ率を制御できる光散乱度制御板を配置し、ヘイズ率を制御できるようにしたことを特徴とする疵検査用照明装置。
IPC (3件):
G01N 21/84
, G01B 11/30
, G01N 21/892
FI (3件):
G01N 21/84 E
, G01B 11/30 A
, G01N 21/892 B
Fターム (25件):
2F065AA49
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065CC06
, 2F065FF42
, 2F065GG03
, 2F065GG08
, 2F065GG16
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ08
, 2F065JJ26
, 2F065LL08
, 2F065LL21
, 2F065LL30
, 2F065NN03
, 2F065NN11
, 2G051AA37
, 2G051AB07
, 2G051BB07
, 2G051BC02
, 2G051BC03
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051DA06
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