特許
J-GLOBAL ID：200903046176251536
気体静圧軸受け装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-346586
公開番号（公開出願番号）：特開平10-169654
出願日： 1996年12月10日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：
【要約】【課題】 十分に高い剛性を有する気体静圧軸受け装置を提供する。【解決手段】 軸受け部20の軸受け面20aが中央部の非通気性のランド部28と、この周囲の多孔質材料30とから構成されている。このため、ランド部28の周囲の多孔質材料30より内側はすきま内圧力が一定であり、また該多孔質材料30の外周縁が大気に接しているため、すきまが狭くなるにつれて、多孔質材料外周の圧力が上昇し、結果的にすきま内圧力が軸受け外周付近で、できるだけ急峻な圧力勾配によって大気圧に至るという理想的な特性を得ることができる。この場合、ランド部28の存在によりスクイーズ効果が発生し、減衰特性も良い。従って、十分に高い剛性を得ることができる。
請求項（抜粋）：
第1物体の面に対し加圧気体を噴出し、前記第1物体との間の隙間に生じる静圧によって、前記第1物体に対向して第2物体を非接触で支持する気体静圧軸受け装置であって、前記第1物体の面に対向する軸受け面が、その中央部の非通気性のランド部と、当該ランド部の周囲を取り囲み、その外周縁が大気に接した多孔質材料とから成る軸受け部と;前記第2物体に取り付けられ、その内部に前記軸受け部に加圧気体を供給する給気路が形成されたハウジング部とを有する気体静圧軸受け装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16C 32/06 B
, H01L 21/68 K
