基板の乾燥機

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奈良武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-231594
公開番号（公開出願番号）：特開2001-056180
出願日： 1999年08月18日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】【課題】基板に塗布されたペーストを均一に乾燥させる。【解決手段】加熱室?@?A?B?Cに接続された排気管の途中にに熱交換器10を設け、排気熱を給気に伝達して温度が低下した排気11を予備加熱室?@に供給し、熱交換により加熱された給気14を本加熱室?A?B?Cに供給するシステムを構成するとともに、予備加熱室?@には溶剤の濃度検出センサー21を備えるとともにすべての加熱室?@?A?B?Cに温度センサー20を設け、これらのセンサーの検出値に基づいて吹き込む熱風の温度又は風量を制御盤にて自動制御する。

請求項（抜粋）：

ペーストを塗布した基板を複数の加熱室内に搬送しつつ加熱・乾燥する乾燥機において、前記加熱室から排出される排気熱を給気に伝達する熱交換器を設けるとともに、熱交換により温度が低下した排気を予備加熱室に供給し、熱交換により加熱された給気を本加熱室に供給することを特徴とする基板の乾燥機。

Fターム (33件)：

3L113AA01 , 3L113AB02 , 3L113AC01 , 3L113AC16 , 3L113AC20 , 3L113AC35 , 3L113AC42 , 3L113AC45 , 3L113AC46 , 3L113AC48 , 3L113AC49 , 3L113AC50 , 3L113AC52 , 3L113AC54 , 3L113AC57 , 3L113AC63 , 3L113AC67 , 3L113AC78 , 3L113AC79 , 3L113AC83 , 3L113BA34 , 3L113CA03 , 3L113CA08 , 3L113CA12 , 3L113CB01 , 3L113CB23 , 3L113CB24 , 3L113CB28 , 3L113CB34 , 3L113DA02 , 3L113DA11 , 3L113DA13 , 3L113DA22

引用特許：

審査官引用 (6件)

大型基板の乾燥方法および乾燥装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-235585 出願人：株式会社ノリタケカンパニーリミテド
塗料の連続焼付け乾燥装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-294791 出願人：古河電気工業株式会社
特開昭60-186686

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