特許

J-GLOBAL ID：200903046197370390

調整部品の面調整装置

発明者： フランツ・コンレ
出願人/特許権者： カール-ツァイス-シュティフトゥング・トレーディング・アズ・カール・ツァイス
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-179893
公開番号（公開出願番号）：特開2002-072057
出願日： 2001年06月14日
公開日（公表日）： 2002年03月12日
要約：

【要約】【課題】極めて正確な調整が可能であり、必要によっては組立後も調整可能である調整部品の面調整装置を提供する。【解決手段】 調整部品の面、特に半導体リソグラフィーで測定光線、例えば、測定レーザを調整する鏡の反射面を互いに別個に位置されている2つの方向に調整するための本発明による装置は、ベース部材3と結合された基礎支持台6を備え、基礎支持台6は、第1バネアーム7、8を介して第1移動支持台9と結合され、第1移動支持台9は、第2バネアーム11、12を介して第2移動支持台10と結合され、第1バネアーム7、8及び第2バネアーム11、12は、互いに角度をなして位置され、調整しようとする面2は、2つの移動支持台9、10のいずれかの上に配置され、調整部材13、14は、第1及び第2移動支持台9、10にその作用を及ぼす。

請求項（抜粋）：

調整部品の面、特に特に半導体リソグラフィーで測定光線、例えば、測定レーザを調整する鏡の反射面を互いに別個に位置されている2つの方向に調整するための装置であって、a)ベース部材3と結合された基礎支持台6を備え、b)基礎支持台6は、第1バネアーム7、8を介して第1移動支持台9と結合され、c)前記第1移動支持台9は、第2バネアーム11、12を介して第2移動支持台10と結合され、d)前記第1バネアーム7、8及び前記第2バネアーム11、12は、互いに角度をなして位置され、e)調整しようとする面2は、前記2つの移動支持台9、10のいずれかの上に配置され、f)調整部材13、14は、前記第1及び第2移動支持台9、10にその作用を及ぼすことを特徴とする調整部品の面調整装置。

IPC (3件)：

G02B 7/198 ,  G02B 26/08 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 26/08 E ,  G02B 7/18 B ,  H01L 21/30 525 F

Fターム (12件)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC01 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ03 ,  2H043AB09 ,  2H043AB18 ,  2H043AB30 ,  5F046FA05 ,  5F046FA20 ,  5F046FB10 ,  5F046FB12