鏡面体外観検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-155375
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326228
出願日： 1998年05月20日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】鏡面についてS/N比の良い画像による外観検査を行う。【解決手段】ウエーハWと撮像光学系のレンズ5と高精細度撮像子6を互いに平行に配置して、高精細度撮像子6でウエーハWの画像を得る。明視野照明系8は、ウエーハWの鏡面に白色板11を映し、撮像カメラ4でウエーハWの鏡面をS/N比良く撮像する。暗視野照明系9は投光型照明装置12と面照明装置16とサイド照明装置18と傾斜角度の小さいリング状の照明装置20を適宜用いてウエーハWを直接照射する。この明視野照明と暗視野照明での画像を撮像して、欠陥を容易に評価判定できる。

請求項（抜粋）：

鏡面体の鏡面の法線に対して斜め方向に位置する撮像レンズを有する撮像カメラによって前記鏡面が撮像素子に結像されるように配置され、前記撮像レンズと鏡面と撮像素子が互いに平行に配設されていると共に、前記鏡面の法線に対して撮像レンズと反対側に、前記鏡面に映る明るい均一面が配置されてなる鏡面体外観検査装置。

前のページに戻る