特許
J-GLOBAL ID：200903046219093077
プローブ方法及びプローブ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-304833
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121558
出願日： 1997年10月20日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】プローブカードが冷えて、プローブ端子の位置ズレや針圧異常を防ぎ、検査の信頼性の向上を図る。【解決手段】高温検査中にメインチャック20が検査位置より低い位置まで退避した時にメインチャック20を位置検出センサ33を介して検出した後、メインチャック20の退避時間を退避時間算出手段を介して算出し、この算出値に基づいてプリヒート実行判定手段を介してメインチャック20でプローブカードをプリヒートするか否かを判定し、プリヒートすると判定した時にはプリヒート時間算出手段を介して退避時間及びプローブカードの種類に基づいてプリヒート実行時間を求め、次いで、プリヒート終了判定手段を介してメインチャック20をプリヒート実行時間だけ検査位置に停止させる。
請求項（抜粋）：
X、Y、Z及びθ方向に移動可能な載置台を所定の検査温度まで加熱した後、その載置台に載置した被検査体を載置し、上記被検査体の電極とプローブカードのプローブ端子とを接触させて電気的特性検査を行うプローブ方法において、高温検査中に上記載置台が検査位置より低い位置まで退避した時に上記載置台を位置検出センサを介して検出した後、上記載置台の退避時間を退避時間算出手段を介して算出し、この算出値に基づいてプリヒート実行判定手段を介して上記載置台で上記プローブカードをプリヒートするか否かを判定し、プリヒートすると判定した時にはプリヒート時間算出手段を介して上記退避時間及び上記プローブカードの種類に基づいてプリヒート実行時間を求め、次いで、プリヒート終了判定手段を介して上記載置台を上記プリヒート実行時間だけ上記検査位置に停止させることを特徴とするプローブ方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 B
, G01R 31/28 K
