特許
J-GLOBAL ID：200903046219618382
有機物除去装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-148415
公開番号（公開出願番号）：特開平5-003152
出願日： 1991年06月20日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【構成】紫外線とオゾンと熱によって有機物を灰化除去する有機物除去装置において、ガス採集口6に直結してガス燃焼機構21を設け、ガス中に含まれる有機物などを分解した後、ガス検知手段12に導き処理の終点を検出する。【効果】紫外線とオゾンと熱によって有機物を灰化除去するときに生成するガスを、配管内に凝縮付着させることなくガス検知手段に導入することができるため、信頼性の高い終点検出ができる。
請求項（抜粋）：
大気圧下で、紫外線とオゾンと熱によって有機物を灰化し、生成したガスを採取、分析し、灰化除去処理の終点を検知する手段を設けた有機物除去装置において、生成ガス採集口にガス燃焼機構を設けたことを特徴とする有機物除去装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G01N 1/24
, G03F 7/42
, H01L 21/302
