積層ユニモルフ型圧電アクチュエータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤良博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-031393
公開番号（公開出願番号）：特開平10-225146
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】バイモルフ型素子に比較して、変位量は小さいが、応答速度が格段に速く、発生力、変換効率、共振周波数が大きく、コストの低減された、バイモルフ素子的な使用が可能な圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】シム材32の片面側に複数の圧電セラミクスの層2を積層してなると共に、当該積層された圧電セラミクスの層2の厚み、圧電定数d31、印加電圧をシム材32から外側に向かって次第に薄く又は大きく構成してなり、シム材32を無分極の圧電不活性層とした屈曲変位が可能な積層ユニモルフ型圧電アクチュエータ20。

請求項（抜粋）：

シム材の片面側に複数の圧電セラミクスの層を積層してなると共に、当該積層された圧電セラミクスの層の厚みを当該シム材から外側に向かって次第に薄く構成してなることを特徴とする屈曲変位が可能な積層ユニモルフ型圧電アクチュエータ。

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