イオンエンジン

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-084162
公開番号（公開出願番号）：特開平8-284803
出願日： 1995年04月10日
公開日（公表日）： 1996年10月29日
要約：

【要約】【目的】スパッター現象に起因する加速電極の短絡事故を防止した長寿命イオンエンジンを提供する。【構成】シールドケース(1)内に配設された放電容器(3)内へ作動ガスを導入し、この作動ガスを電離させて放電容器内にプラズマを生成し放電容器に取り付けられた磁石により放電容器の内壁から離れた領域にプラズマを保持し、加速電極(4)によりプラズマ中のイオンを取り出して加速し複数のイオンビーム通過孔(5b)から放電容器の外部へ送り出し推力を生成するイオンエンジンにおいて、放電容器の内表面の一部あるいは全体には、加速電極により加速されたイオンが放電容器の表面等に衝突して放出されるスパッター粒子(14)を内表面に付着させるためのコーティング部(16)が形成されており、コーティング部は、スパッター粒子のコーティング部への付着強度が大きい材質で形成された付着部(16b)と付着強度が小さい材質で形成された非付着部(16a)とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

シールドケース内に配設された放電容器内へ作動ガスを導入し、この作動ガスを電離させて前記放電容器内にプラズマを生成するとともに前記放電容器の内壁から離れた領域にプラズマを保持し、加速電極により前記プラズマ中のイオンを取り出して加速しイオンビーム通過孔から前記放電容器の外部へ送り出し推力を生成するイオンエンジンにおいて、前記放電容器の内表面の少なくとも一部には、前記加速電極により加速されたイオンの衝突により放出されるスパッター粒子を前記内表面に付着させるためのコーティング部が形成されており、前記コーティング部は、スパッター粒子の前記コーティング部への付着強度が大きい材質で形成された付着部と付着強度が小さい材質で形成された非付着部とを有することを特徴とするイオンエンジン。

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