特許
J-GLOBAL ID：200903046227475256
ロット自動編成装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-162832
公開番号（公開出願番号）：特開平7-022490
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウエハ生産工程において効率の良い可変ロット数のロット編成を自動的に行う。【構成】 前後の処理工程間でロット1のバッチ処理単位が変わる場合に、1バッチ処理当たりのロット数を変更するためのロット編成専用工程を設ける。ステーション上のロット1の識別情報をロット識別装置6により読み取り、ストッカー2、ステーション5及び第1乃至第3搬送ロボット3、4、7を統括制御して、ロット1の識別情報に基づき前記ステーション5上のロット1を所定のストッカー2の所定の位置に収納すると共に、次工程の処理条件、装置負荷、処理の優先順位等のロット編成条件に従ってバッチ内のロット1の編成、分割作業を自動的に行う。【効果】 半導体ウエハ生産工程における工期短縮及び仕掛かりの平準化により生産性が向上する。
請求項（抜粋）：
整列配置されて複数個のロットを収納しうる複数のストッカーと、それらの複数のストッカーの前面に設置されて前面よりロットの出し入れをする第1搬送ロボットと、前記複数のストッカーの背面に設置されて背面よりロットの出し入れをする第2搬送ロボットと、前記第1及び第2搬送ロボットが前記ストッカーに出し入れするロットを複数個載置しうるステーションと、そのステーション上のロットの識別情報を読み取るロット識別装置と、前記ステーション上のロットを搬送して前記第1及び第2搬送ロボットに受け渡しする第3搬送ロボットと、前記ストッカー、前記ステーション及び前記第1乃至第3搬送ロボットを統括制御して、前記ロットの識別情報に基づき前記ステーション上のロットを所定のストッカーの所定位置に収納すると共に、次工程の処理条件、装置負荷、処理の優先順位等のロット編成条件に従ってバッチ内のロットの編成、分割作業を自動的に行う制御装置とからなるロット自動編成装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 41/00
, B23Q 41/08
, B65G 1/00
