特許
J-GLOBAL ID：200903046234272379
振動除去装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武石 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-231830
公開番号（公開出願番号）：特開平6-081892
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 本発明は空気圧シリンダとコイルアクチュエータを直列に接続することにより、これらの発生力が定盤に及ぼす力点を一致させ、振動を低減させる性能が高い振動除去装置を提供する。【構成】 図示しない定盤2の位置を一定高さに保つとともに振動を除去するため、図示しない制御手段によってエア入出力部16に所定圧力の空気が入力されるとともにコイルアクチュエータ3に所定電流が流され、定盤2の駆動軸22を付勢する。かかるコイルアクチュエータ3は、コイル3bが前記基台に立設されかつ前記定盤に凹設された遊嵌孔23に遊嵌させることによってマグネット3aとの間で形成することにより空気バネ1a、ダンパ1bとコイルアクチュエータ3が直列に配設された構造となり、これらの力が定盤2のテーブル21上の略同一位置に作用する。
請求項（抜粋）：
物体を載置する定盤と、前記定盤を支持する基台と、前記定盤上の挙動を検知して前記定盤の振動を制御する制御手段を備えた振動除去装置であって、前記基台に立設されたコイルと、前記基台内に配設され、前記定盤を支持する空気バネと、前記コイルを遊嵌するための前記定盤に凹設された遊嵌孔と、前記遊嵌孔の側面に埋設されたマグネットとを有し、前記コイルが前記定盤に凹設された遊嵌孔に遊嵌されることによって前記マグネットとの間で前記コイルアクチュエータを形成したことを特徴とする振動除去装置。
IPC (4件)：
F16F 15/03
, F16F 15/02
, G05D 19/02
, G12B 9/08
