特許

J-GLOBAL ID：200903046241980885

露光装置の調整方法及び露光装置

発明者： 原田 善壽
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-030633
公開番号（公開出願番号）：特開2001-223149
出願日： 2000年02月08日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：

【要約】【課題】 短時間で、簡単に、しかも高精度で光学系の調整を行うことができるような露光装置の調整方法を提供する。【解決手段】 参照溝パターンが形成された参照面を有する参照板18aを露光面に配置したときに参照溝パターンと2束のレーザ光の干渉縞パターンとが参照板18aの格子面上で互いに重畳することにより発生するモアレ縞のパターンが、光学系の設計パラメータから理論的に求められるモアレ縞のパターンと一致するように、光学系の構成要素の配置及び向きを調整する。

請求項（抜粋）：

2束の光の干渉により回折格子の溝パターンを形成するための露光装置の調整方法において、前記2束の光の干渉縞が形成される面である露光面上に、所定の参照溝パターンが形成された参照面を有する参照板を配置し、前記参照面に2束の光を照射する手順、前記2束の光の干渉縞パターンと前記参照溝パターンとにより形成されるモアレ縞のパターンを観察する手順、及び前記格子面上で実際に発生するモアレ縞のパターンが理論的に求められるパターンと一致するように光学系の構成要素の配置及び向きを調整する手順を含むことを特徴とする露光装置の調整方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/18 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 505

FI (4件)：

G02B 5/18 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/30 528

Fターム (12件)：

2H049AA04 ,  2H049AA34 ,  2H049AA48 ,  2H097AA03 ,  2H097BA02 ,  2H097CA17 ,  2H097LA20 ,  5F046BA08 ,  5F046CA03 ,  5F046CB02 ,  5F046CB09 ,  5F046CB27