特許
J-GLOBAL ID：200903046242500984
板状体の洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-138049
公開番号（公開出願番号）：特開平11-319737
出願日： 1998年05月20日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：
【要約】【課題】ウェハやガラス板のような板状体の洗浄装置において、ウェハ8の複数枚を収納するキャリア7を設置した状態で、短期間で効率よくゴミを除去して洗浄する。【解決手段】給液配管3と排液配管4との間に管状処理槽1を形成し、複数のウェハ8を並べ収納するウェハキャリア7を管状処理槽1内に設置し、それぞれのウェハ8に対し同じ位置に水平に並べかつウェハ8を挟むように上流および下流に配置される複数対の速度制御板2を設け、洗浄液をウェハ8の表面に接触し流れる多層の層流に分岐させ、洗浄液の流れのエネルギ-によってウェハ8の表面に付着したゴミを剥離させる。
請求項（抜粋）：
洗浄液を供給する給液配管部と前記洗浄液を排出する排液配管部との間に有ってテ-パ状連結部を介して取り付けられるとともに前記給液配管部および前記排液配管部より大きな断面積をもつ管状処理槽と、洗浄すべき板状態の複数枚を上下に並べそれぞれを水平に維持し収納する箱体状のキャリアを前記管状処理槽の底部に載置する台座と、載置された前記キャリアのそれぞれの前記板状体の位置と同一の位置にそれぞれに水平に並べ配しかつ前記板状体を挟むように配置される複数対の板状の速度制御板とを備えることを特徴とする板状体の洗浄装置。
IPC (3件)：
B08B 3/10
, H01L 21/304 642
, H01L 21/304 648
B08B 3/10 Z
, H01L 21/304 642 A
, H01L 21/304 648 K
