特許

J-GLOBAL ID：200903046243815440

磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法

発明者： 松野 好洋 ,  片山 慎也 ,  松野 賢介
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-253352
公開番号（公開出願番号）：特開2003-157522
出願日： 1993年11月11日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、磁気ヘッド浮上量50nm程度の磁気ディスク装置に対しても適用可能な磁気記録媒体用ガラス基板の効率的な製造方法を提供する。【解決手段】 化学強化したガラス基板の主表面を研磨する際に、研磨によって削減するガラス厚さを各研磨面について0.05μm以上0.7μm以下とすことにより、当該各研磨面おける原子間力顕微鏡により測定した12μm□当たりの凹凸の最大最小値の差異の平均を8nm以上20nm以下にする。

請求項（抜粋）：

化学強化処理を施したガラス基板の主表面を研磨し平滑にする磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法において、研磨し削減するガラス厚さを各研磨面につき0.05μm以上0.7μm以下とすることにより、当該各研磨面における原子間力顕微鏡により測定した12μm□当たりの凹凸の最大最小値の差異の平均を8nm以上20nm以下にすることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。

IPC (2件)：

G11B 5/84 ,  C03C 19/00

FI (2件)：

G11B 5/84 A ,  C03C 19/00 Z

Fターム (7件)：

4G059AA09 ,  4G059AC03 ,  5D112AA02 ,  5D112BA03 ,  5D112BA09 ,  5D112GA09 ,  5D112GA28