特許
J-GLOBAL ID：200903046244975173
クリーンルームにおける排気ガスの排出方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-228765
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083471
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：
【要約】【目的】 クリーンルーム内に設置された複数台のドラフトの運転状態にかかわらず略一定の状態で排気ガスを排出することができる排気ガスの排出方法及び装置を提供する。【構成】 ドラフトからの排気ガスを吸引送風する排気ファン14の入口側に、吸引する排気ガスの圧力を検出する圧力センサー31を設けるとともに、該圧力センサー31により検出される圧力を略一定に保つ風量制御手段として圧力コントローラー32及びインバーター33を設け、排気ファン14の入口側圧力を略一定に保つように排気ファン14の排気風量を制御する。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内に設置された複数台のドラフトからの排気ガスを排気ファンを介して浄化装置に導入し、除害処理して排出するにあたり、前記排気ファンの入口側圧力を略一定に保つように排気風量を制御することを特徴とするクリーンルームにおける排気ガスの排出方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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