特許

J-GLOBAL ID：200903046245615375

検査装置とこれを用いたシステム

発明者： 辻 俊彦 ,  宮▲崎▼ 恭一 ,  竹内 誠二 ,  吉井 実 ,  野瀬 哲志
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-018849
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201601
出願日： 1993年02月05日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 従来は検出が難しかった微小な異物や欠陥を、高いS/N比で検出することができる検査装置の提供。【構成】 周波数がΔωだけ異なり且つ偏光方向が一致した2つの光成分が含まれるレーザビーム34を生成する。これをハーフミラー13で分岐し、一方は光電検出器24で検出して参照光として同期検出器25に入力する。又、他方はポリゴンミラー15及びfθレンズ16からなる走査光学系によってレーザビーム35として検査面18上を走査する。検査面18上の走査スポット位置においては、レーザビーム35は光ヘテロダイン干渉によってビート周波数Δωで強度変調される。検査面18に存在する異物や欠陥によって散乱される散乱光36は、光電検出器22で検出され、同期検出器25に入力される。同期検出器25では先の参照光の周波数Δωに同期して散乱光信号を検出する。

請求項（抜粋）：

検査位置に照射される光ビームを変調する変調手段と、該検査位置で散乱される光を、前記変調に同期して検出する検出手段を有することを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-307046
  
• 特開昭62-062251
  
• 特開平2-035980