特許

J-GLOBAL ID：200903046255469741

静電チャック

発明者： 伊藤 康隆
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 安富 康男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-322988
公開番号（公開出願番号）：特開2001-351970
出願日： 2000年10月23日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】 高温においても抵抗発熱体間の絶縁を確保することができ、これにより抵抗発熱体を経由して静電電極間にショートが発生するのを防止することができる静電チャックを提供する。【解決手段】 セラミック基板に抵抗発熱体が設けられるとともに、セラミック基板上に静電電極が形成され、前記静電電極上にセラミック誘電体膜が一体的に設けられた静電チャックであって、前記抵抗発熱体は、前記セラミック基板のセラミック誘電体膜が設けられた面の反対側面に設けられていることを特徴とする静電チャック。

請求項（抜粋）：

セラミック基板に抵抗発熱体が設けられるとともに、セラミック基板上に静電電極が形成され、前記静電電極上にセラミック誘電体膜が一体的に設けられた静電チャックであって、前記抵抗発熱体は、前記セラミック基板のセラミック誘電体膜が設けられた面の反対側面に設けられていることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H05B 3/20 301 ,  B23Q 3/15

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  H05B 3/20 301 ,  B23Q 3/15 D

Fターム (29件)：

3C016CE05 ,  3C016GA10 ,  3K034AA02 ,  3K034AA05 ,  3K034AA10 ,  3K034AA16 ,  3K034AA19 ,  3K034AA21 ,  3K034AA28 ,  3K034AA34 ,  3K034AA37 ,  3K034BA06 ,  3K034BA14 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC04 ,  3K034BC17 ,  3K034DA04 ,  3K034HA10 ,  3K034JA02 ,  3K034JA10 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA37 ,  5F031MA28 ,  5F031MA30 ,  5F031PA11 ,  5F031PA30