特許
J-GLOBAL ID：200903046259930729
スローベントバルブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-022057
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213371
出願日： 1993年01月14日
公開日（公表日）： 1994年08月02日
要約：
【要約】【目的】 真空状態のチャンバーにガスを供給して大気圧とする場合に、ガス供給によるパーティクルの発生が少なく、かつ高いシール性を有しており高真空を達成することが容易なスローベントバルブを提供すること。【構成】 スローベントバルブは、真空ポンプ7により真空状態とされる真空チャンバー4とガスタンク3とを連通する管路に設けられ真空チャンバー4内に窒素ガスNを供給して大気圧にするリークバルブ1と、リークバルブ1への通電を開始した後時間経過に応じてリークバルブの弁開度を所定開度Hまで徐々に変化させる弁開度制御回路29と、リークバルブ1とガスタンク3との間の管路に付設される電磁弁2を有し、リークバルブ1がノーマルオープン型リークバルブである。
請求項（抜粋）：
真空ポンプにより真空状態とされる密閉容器とガス供給源とを連通する管路に設けられ、真空状態の密閉容器内にガスを供給して大気圧にするリークバルブと、リークバルブへの通電を開始した後時間経過に応じて、リークバルブの弁開度を所定開度まで徐々に変化させる弁開度制御手段とを有するスローベントバルブにおいて、前記リークバルブと前記ガス供給源との間の管路に付設されるガス開閉弁を有すると共に、前記リークバルブがノーマルオープン型リークバルブであることを特徴とするスローベントバルブ。
IPC (3件)：
F16K 51/02
, F16K 31/06 385
, H01L 21/302
