特許

J-GLOBAL ID：200903046260840776

微細ボール搭載装置

発明者： 藤村 直之
出願人/特許権者： 安藤電気株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-294573
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114704
出願日： 1998年09月30日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】 作業者への負担を増大させたり、作業効率を低下させることなく、微細ボールを搭載させる治具へ、微細ボールを効率よくかつばらつきなく保持させる。【解決手段】 複数の吸着孔が形成された吸着治具2を有し、吸引装置B21によって吸着孔に微細ボールを吸着させて移動させるボール吸着装置10と、吸着治具2へ微細ボールを受け渡すボール供給装置14と、ボール供給装置14へ所定量の微細ボールを送り出すボール送出装置25と、ボール吸着装置10、ボール供給装置14及びボール送出装置25の駆動をそれぞれ制御する制御部とを具備させる。制御部によって、ボール吸着装置10に吸着させた微細ボールをワークWへ移動させて微細ボールをワークWに搭載させる搭載工程中に、ボール送出装置25からボール供給装置14へ所定量の微細ボールを送り出させる。

請求項（抜粋）：

バンプとなる微細ボールを吸着し、吸着した微細ボールをワークへ搭載させる微細ボール搭載装置であって、複数の吸着孔が形成された吸着治具を有し、吸引手段によって前記吸着孔に前記微細ボールを吸着させて移動させるボール吸着手段と、該吸着治具へ前記微細ボールを受け渡すボール供給手段と、該ボール供給手段へ所定量の前記微細ボールを送り出すボール送出手段と、前記ボール吸着手段、ボール供給手段及びボール送出手段の駆動をそれぞれ制御する制御手段とを具備してなり、前記制御手段は、前記ボール吸着手段に吸着させた微細ボールを前記ワークへ移動させて前記微細ボールを前記ワークに搭載させる搭載工程中に、前記ボール送出手段から前記ボール供給手段へ所定量の前記微細ボールを送り出させることを特徴とする微細ボール搭載装置。

IPC (4件)：

H05K 3/34 505 ,  B25J 15/06 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/60

FI (4件)：

H05K 3/34 505 A ,  B25J 15/06 K ,  H01L 21/66 D ,  H01L 21/92 604 H

Fターム (6件)：

3F061AA03 ,  3F061CB05 ,  3F061DB03 ,  3F061DB06 ,  5E319BB01 ,  5E319CD26