特許

J-GLOBAL ID：200903046270135884

走査型電子顕微鏡

発明者： 深澤 和彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-318251
公開番号（公開出願番号）：特開平8-180826
出願日： 1994年12月21日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【目的】 走査型電子顕微鏡において、移動距離が長い場合でもトラックボールを用いた簡単な操作で所望の位置に観察視野を移動する。【構成】 位置モード/速度モード選択スイッチ部36を操作することにより、ステージ制御手段19に位置モードか、又は速度モードかを指示する。位置モードの場合、トラックボール62の回転体63を回転することにより、その回転方向と回転角とに応じた位置に試料上の観察視野が移動する。速度モードの場合、回転体63を回転することにより、回転方向と回転角とに応じた移動速度で観察視野が移動する。観察視野を移動したい位置が遠く離れているときには、速度モードにしてトラックボール62を操作して観察視野を移動する。

請求項（抜粋）：

試料上で電子線を走査し、前記試料から発生する2次電子を検出して得られる画像信号を用いて画像表示手段上に前記試料上の所定の観察視野内の画像を表示する走査型電子顕微鏡において、前記試料を前記電子線の走査面上で2次元的に移動させる試料ステージと、それぞれ変位量を電気信号に変換する2軸のエンコーダを介して前記試料ステージの互いに交差する第1方向、及び第2方向への変位情報をそれぞれ設定する変位情報設定手段と、前記試料ステージの移動モードを位置制御モード、又は速度制御モードの何れかに設定する移動モード設定手段と、該移動モード設定手段により前記位置制御モードが設定されたときは前記変位情報設定手段により設定された変位情報の変化量に応じた位置に前記試料ステージを移動させると共に、前記移動モード設定手段により前記速度制御モードが設定されたときは前記変位情報設定手段により設定された変位情報の変化量に応じた速度で前記試料ステージを移動させるステージ制御手段と、を有することを特徴とする走査型電子顕微鏡。