誘電率または透磁率の測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井出直孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-141940
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324522
出願日： 2000年05月15日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】絶縁材料や半導体材料の誘電率または透磁率を完全なTEM波の下で測定する。提供される実用的な形態の被測定サンプルによりインピーダンス反射が小さく誤差の少ない方法であって、簡便に工業的に繰り返し測定することができる測定方法および治具を提供する。【解決手段】二つの同軸ケーブルの間に被測定サンプルを介挿し、被測定サンプルをディスク型伝送路として測定することにより、測定された複素定数からその誘電率または透磁率を演算する。

請求項（抜粋）：

内部導体の外径が2dであり外部導体の内径が2Dである二本の同軸ケーブルと、被測定サンプルと、複素二端子定数を測定することができる測定器とを用意し、その被測定サンプルを円板状に切り出し、中心に内径が2aの円形穴を設け、その外径が2bでありその厚さがhであるドーナツ板形状に、しかもa=dになるように形成し、その被測定サンプルの中心の円形穴の内面が第一の導電性物質で覆われそのドーナツ板形状の両面がそれぞれ電気的に独立に第二の導電性物質で覆われるように加工を施し、前記二本の同軸ケーブルの各一端の内部導体がそれぞれ前記第一の導電性物質に接続され外部導体がそれぞれ前記第二の導電性物質に接続されるように前記二本の同軸ケーブルおよび前記被測定サンプルとを接続し、前記二本の同軸ケーブルのうち長さL1である第一の同軸ケーブルの他端を前記測定器の測定端子に接続し、前記二本の同軸ケーブルのうち長さL2である第二の同軸ケーブルの他端の内部導体と外部導体との間にあらかじめ定数のわかっているインピーダンス素子を接続してその測定器により任意に設定した周波数により二端子複素定数を測定し、その測定結果から前記被測定サンプルの誘電率およびまたは透磁率を演算により求めることを特徴とする測定方法。

IPC (3件)：

G01R 27/26 , G01R 27/02 , G01R 33/12

FI (3件)：

G01R 27/26 H , G01R 27/02 A , G01R 33/12 Z

Fターム (14件)：

2G017AD69 , 2G017BA03 , 2G017CA09 , 2G017CB02 , 2G017CB13 , 2G017CB21 , 2G017CC02 , 2G028AA05 , 2G028BB10 , 2G028BC01 , 2G028CG08 , 2G028CG09 , 2G028DH14 , 2G028KQ02

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