特許
J-GLOBAL ID：200903046270628082
透過型電子顕微鏡による磁性体の観察方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-266093
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109380
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：
【要約】【目的】電子ビームが磁性体薄膜を透過するときに受けるローレンツ力による偏向から、この薄膜の磁気的特性を求めるローレンツ顕微鏡において、像回転や倍率変化を起こすことなく、デフォーカス距離(焦点のずれ距離)を変化させることのできる装置、及びそれを使った観察方法を提供する。【構成】電子ビーム1が通過する孔を中央部に有する試料ホルダ4の内部に磁性薄膜試料を保持し、この試料ホルダ4をその外面側の3個所で電子ビーム1と垂直な方向に加圧支持する積層型圧電素子2と、試料ホルダ4をその下面側の3個所で電子ビーム1と平行な方向に移動可能に支持するバイモルフ型圧電素子3と、これらの圧電素子にそれぞれ別個に調節可能な電圧を印加する印加電圧制御手段とを設けて、試料ホルダ4を電子ビーム1と平行方向に移動させることによりデフォーカス距離を設定する構成とする。
請求項（抜粋）：
磁性体薄膜試料に焦点をずらした電子ビームを照射し、試料を透過するときに受けるローレンツ力による電子ビームの偏向を検知して試料の磁気的特性を調べる透過型電子顕微鏡において、焦点の試料面からのずれ距離を、試料を保持している試料ホルダを電子ビームと平行な方向に移動させることにより設定することを特徴とする透過型電子顕微鏡による磁性体の観察方法。
IPC (4件)：
H01J 37/26
, G01R 33/028
, G01R 33/12
, H01J 37/20
