特許
J-GLOBAL ID：200903046272529332
ピックアップ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-337972
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162205
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 ニードルの磨滅や破損等の異常を精度よく自動的に検出する。【解決手段】 ペレットを突き上げて粘着シートから剥離させるニードル13を突き上げ台18にフローティング支持させるとともに、ニードル13と突き上げ台18との間にニードル13と突き上げ台18との接触・非接触を電気的に検出する検出装置21を介設する。検出装置21は電源27、接続ピン26、スプリング20、ニードル13、可動接点25、固定接点24、ランプ28の電気回路22で構成する。【効果】 電気回路のオン・オフによる単純な作動で異常を検出できるため、ニードルの磨滅や破損等の異常を精度よく自動的に検出できる。ニードルを逸早く交換できるため、ペレットのピックアップ作業時にニードルによってペレットの裏面を傷付けたり、コレットのペレット吸着ミスの発生を防止できる。省力化を促進でき人為的ミスを防止できる。
請求項（抜粋）：
多数個の小物品が粘着された粘着シートを保持するテーブルと、このテーブルに対して進退する突き上げ台と、この突き上げ台によって突き上げられてテーブルに保持された粘着シートを裏面側から突いて前記小物品を粘着シートから離脱させるニードルとを備えているピックアップ装置において、前記ニードルが前記突き上げ台にフローティング支持されており、ニードルと突き上げ台との間にはニードルと突き上げ台との対向面の位置関係を検出する検出装置が介設されていることを特徴とするピックアップ装置。
IPC (4件)：
H01L 21/52
, G01R 31/26
, H01L 21/68
, H01L 21/301
H01L 21/52 F
, G01R 31/26 Z
, H01L 21/68 E
, H01L 21/78 Y
