質量分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-061777
公開番号（公開出願番号）：特開平10-247471
出願日： 1997年02月28日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】パラメータ調整後にイオン化室に残留する不所望の成分を迅速に排出する。【解決手段】イオン化室11に接続された流路からバルブ25を介して真空ハウジング10にバイパス流路26を設ける。標準試料ガスの導入後、バルブ23、24を閉鎖した後にバルブ25を開放する。これにより、バルブ23、24とイオン化室11との間の流路に残留していた標準試料ガスはバイパス流路26を通して迅速に排出される。従って、その後、速やかに目的試料の分析を開始することができる。

請求項（抜粋）：

反応ガスイオンとの化学反応により試料分子をイオン化するためのイオン化室を備えた質量分析装置において、a)反応ガスを供給するための、第1バルブを設けた第1流路と、b)標準試料ガスを供給するための、第2バルブを設けた第2流路と、c)第1及び第2バルブの出口側で第1及び第2流路が合流した箇所よりイオン化室に接続された共通流路と、d)該共通流路又は第1バルブと第2バルブとの間の流路より第3バルブを介して真空室又は真空排気手段に連結された排出流路と、e)標準試料ガス分子のイオン化時には第3バルブを閉鎖すると共に第1及び第2バルブを開放してイオン化室に反応ガス及び標準試料ガスを導入し、該イオン化が終了した後に共通流路及び第1バルブと第2バルブとの間の流路に残留する標準試料ガスを排出流路を通して排出すべく、第2バルブを閉鎖すると共に第3バルブを開放するように第1乃至第3バルブを制御する制御手段と、を備えることを特徴とする質量分析装置。

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