特許
J-GLOBAL ID：200903046276933421
基板保持部材および塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
米田 潤三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-114294
公開番号（公開出願番号）：特開平9-276776
出願日： 1996年04月11日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：
【要約】【課題】 大型ガラス基板等の枚葉タイプの基板を、そのサイズに対応して確実に保持することができる基板保持部材と、このような基板保持部材を備え、均一な塗布膜の形成が可能な塗布装置を提供する。【解決手段】 少なくとも周縁を含む所定箇所に土堤部を備え、該土堤部の上面は平坦で、かつ、単一平面内にあり、さらに、周囲を前記土堤部によって囲まれた領域に吸引用の口部を備えるような基部と、この基部上に、基部よりも面積が小さいとともに複数の吸引孔を表面から裏面に貫通して備えた保持用平板を、吸引孔が形成されていない部分を前記土堤部の上面と密接させて装着させて基板保持部材とし、保持用平板上に吸引によって前記保持用平板よりも面積の大きい基板を保持する。
請求項（抜粋）：
基部上に該基部よりも面積が小さく着脱可能な保持用平板を備え、該保持用平板上に吸引によって前記保持用平板よりも面積の大きい基板を保持する基板保持部材であって、前記基部は、少なくとも周縁を含む所定箇所に土堤部を備え、該土堤部の上面は平坦で、かつ、単一平面内にあり、さらに、前記基部は、周囲を前記土堤部によって囲まれた領域に吸引用の口部を備え、前記保持用平板は、複数の吸引孔を表面から裏面に貫通して備え、該吸引孔が形成されていない部分を前記土堤部の上面と密接させて前記基部上に装着可能である、ことを特徴とする基板保持部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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