ショットキ障壁型固体撮像素子およびこれを用いた撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-014079
公開番号（公開出願番号）：特開平11-289492
出願日： 1996年12月16日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】赤外線画像と可視光画像の両者を高感度に検出できるショットキ障壁型固体撮像素子を提供する。【解決手段】画素が配列された受光領域12下が画素ピッチ程度あるいはそれ以下の厚さになっている、受光領域12下のp型Si1裏面には、p型Si1と電気的接触をなし、ショットキ電極2を透過した赤外線を再利用するための金属反射鏡兼裏面電極11aを有している。垂直CCD電極8を覆うように金属遮光膜9が設けられている。

請求項（抜粋）：

ショットキダイオードから成る受光部が2次元に配列され、該受光部において光電変換されて発生した2次元画像信号を時系列信号として出力する電子走査機能素子を有するショットキ障壁型固体撮像素子において、赤外・可視両用であって、受光領域下の基板が少なくとも画素ピッチ程度あるいはそれ以下の厚さになっており、前記ショットキダイオードは極薄のショットキ電極よりなり、受光領域裏面に金属反射鏡兼裏面電極を備え、少なくとも前記電子走査機能素子上に金属遮光膜を有することを特徴とするショットキ障壁型固体撮像素子。

IPC (3件)：

H04N 5/335 , H01L 27/148 , H01L 27/14

FI (5件)：

H04N 5/335 F , H04N 5/335 V , H01L 27/14 B , H01L 27/14 K , H01L 27/14 D

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開昭58-171849
特開昭63-305553
特開昭64-013766

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