特許

J-GLOBAL ID：200903046284278661

スタイラス先端子検査装置

発明者： 佐藤 栄一
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-352081
公開番号（公開出願番号）：特開2003-148942
出願日： 2001年11月16日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】 ベース及び先端子の材質、表面仕上げ、先端子の取り付け角度がカメラにより取得されるベースの先端部の画像に与える影響をなくし、先端子の有無や先端子の形状の判定を適切に行うことを可能とさせる。【解決手段】 スタイラス先端子検査装置10は光源14と撮像カメラ18とを備え、光源14と撮像カメラ18との間にスタイラス22の先端部を配置し、光源14から発せられる光によるスタイラス22の先端部の射影を撮像カメラ18により撮像し、撮像カメラ18により撮像された射影画像に基づいて、先端子26の検査を行うように構成されている。

請求項（抜粋）：

ベースと、該ベースの先端部に突出して設けられた表面形状測定用先端子とを備えたスタイラスの先端子を検査するスタイラス先端子検査装置において、光源と撮像カメラとの間に前記ベースの先端部を配置し、前記光源から発せられる光による前記ベースの先端部の射影を前記撮像カメラにより撮像し、前記撮像カメラにより撮像された前記射影画像に基づいて、前記先端子の検査を行うようにしたスタイラス先端子検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/30 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/26 ,  G01N 21/84

FI (4件)：

G01B 11/30 Z ,  G01B 11/26 H ,  G01N 21/84 Z ,  G01B 11/24 K

Fターム (26件)：

2F065AA01 ,  2F065AA20 ,  2F065AA31 ,  2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065BB24 ,  2F065DD04 ,  2F065DD09 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF67 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065TT03 ,  2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051BA20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051CB10 ,  2G051DA05 ,  2G051EA23