特許

J-GLOBAL ID：200903046290008110

電子顕微鏡

発明者： 稲田 博実 ,  長沖 功 ,  小林 弘幸
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-212961
公開番号（公開出願番号）：特開2002-025491
出願日： 2000年07月13日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：

【要約】【課題】 撮像した視野が目的とする形態の検索に適する視野であるか、適さない視野であるかを自動的に判定し、必要な視野のみを効率的に抽出する。【解決手段】 撮像した視野のラインプロファイルを作成し明るさ(階調)を測定する方法、電子光学的条件を変えて撮影した同一視野の2枚の透過像の相互相関を求め、この一致度(相関関数)を見る方法、あるいは条件を変えて撮影した2枚の透過像の位相限定相関を求め、その一致度を見る方法等によって、視野の状態を判定し(S17)、観察・検索に適さない場合は次の視野に移動する。

請求項（抜粋）：

試料を支持する支持台と、電子線を偏向させて試料に入射させる偏向器と、試料を透過した電子線による試料透過像を撮像する撮像手段と、撮像した試料透過像を画像演算する画像演算手段と、視野移動条件を設定する手段と、設定された視野移動条件に基づいて視野を自動的に移動する手段と、前記画像演算手段による演算結果を用いて撮像した視野が観察に適する視野であるか否かを判定する判定手段とを備え、前記判定手段によって観察に適すると判定された視野の試料透過像と視野の座標を表示及び/又は保存することを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (7件)：

H01J 37/22 501 ,  H01J 37/22 ,  G01N 23/04 ,  G06T 1/00 295 ,  G06T 7/60 150 ,  H01J 37/26 ,  G01N 23/225

FI (7件)：

H01J 37/22 501 J ,  H01J 37/22 501 A ,  G01N 23/04 ,  G06T 1/00 295 ,  G06T 7/60 150 B ,  H01J 37/26 ,  G01N 23/225

Fターム (44件)：

2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA11 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001FA06 ,  2G001GA03 ,  2G001GA04 ,  2G001GA05 ,  2G001GA11 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001JA20 ,  2G001KA01 ,  2G001PA11 ,  2G001SA01 ,  5B057AA10 ,  5B057BA01 ,  5B057BA30 ,  5B057CE06 ,  5B057DA07 ,  5B057DA13 ,  5B057DA16 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB09 ,  5B057DC34 ,  5C033SS01 ,  5C033SS04 ,  5L096CA24 ,  5L096DA02 ,  5L096FA23 ,  5L096FA34 ,  5L096FA52 ,  5L096FA69 ,  5L096GA19 ,  5L096HA08 ,  5L096JA03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 部品検査システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-307104   出願人：日本電子株式会社, 日本電子システムテクノロジー株式会社