特許

J-GLOBAL ID：200903046292065960

走査型プローブ顕微鏡

発明者： 蓮村 聡
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-346276
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165844
出願日： 1999年12月06日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 探針先端表面形状を反映したパラメータを算出する機能を有する走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 表面に鋭角な凸部を有する標準試料を測定して得た表面形状像において、凸部最大高さから任意の間隔の距離における断面図を用いて断面部分半径を近似計算した。ここで最大高さからの距離をX、断面部分半径をYとして平面プロットした結果が探針先端形状を示し、計算により探針先端表面形状を反映した探針先端曲率半径Rと探針先端開き角2αを数値化した。

請求項（抜粋）：

先端の鋭い探針を有するカンチレバーと、カンチレバーの変位を検出する光学系と、カンチレバーと試料を相対的に移動させる微動・粗動機構と、カンチレバー試料間距離を任意に保つ制御系から構成される走査型プローブ顕微鏡において、標準試料を走査し得られた形状像から探針先端表面形状を反映したパラメータを算出する機能を持たせたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。