特許
J-GLOBAL ID：200903046294611083
加速度センサー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 信道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-233267
公開番号（公開出願番号）：特開平10-078451
出願日： 1996年09月03日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：
【要約】【課題】 表の引出パターンと裏の共通電極間に発生する浮遊容量を低減した正確な加速度センサーの提供。【解決手段】 圧電層1を備え且つ可撓性を有するセンサー本体2と、該センサー本体2の周縁を支持する支持部材3と、前記センサー本体2の下面中央部に垂設された重錘体4より成る加速度センサーにおいて、前記センサー本体2は、圧電層1上に、各圧電素子から出力信号を取り出す為の表電極5と、該表電極5に接続する引出パターン6を設け、前記圧電層1の裏面に、表電極5と対向する電極膜7と、前記引出パターン6と対向する絶縁膜8を着接し、該電極膜7及び絶縁膜8の裏面に、一体的な共通電極9を着接して成る加速度センサー。
請求項（抜粋）：
圧電層(1)を備え且つ可撓性を有するセンサー本体(2)と、該センサー本体(2)の周縁を支持する支持部材(3)と、前記センサー本体(2)の下面中央部に垂設された重錘体(4)より成る加速度センサーにおいて、前記センサー本体(2)は、圧電層(1)上に、各圧電素子から出力信号を取り出す為の表電極(5)と、該表電極(5)に接続する引出パターン(6)を設け、前記圧電層(1)の裏面に、表電極(5)と対向する電極膜(7)と、前記引出パターン(6)と対向する絶縁膜(8)を着接し、該電極膜(7)及び絶縁膜(8)の裏面に、一体的な共通電極(9)を着接して成ることを特徴とする加速度センサー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/09
, H01L 41/08 Z
