成膜装置および有機EL素子の製造装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：角田芳末 , 磯山弘信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-004746
公開番号（公開出願番号）：特開2004-220852
出願日： 2003年01月10日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：

【課題】キャリアガスや有機材料含有ガス等のガスの温度を所望の温度に均一に応答性良く制御し、高品質で均質な有機膜を効率よく形成する成膜装置を提供する。【解決手段】有機膜形成装置100においては、キャリアガスまたは有機材料含有ガスを搬送する配管途中に熱交換器230を設ける。熱交換器230のガス流路232は、滑らかな曲面ではなく折れ曲がった非曲線形状にガス流路232が構成されている。また、ガス流路232内には熱交換ボール233が密に収容されている。したがって、熱交換器230に流入したガスは、加熱部材234により加熱されているガス流路形成部材231に順次接して直接的に加熱され、均一にムラ無く加熱される。また、効率よく熱が伝わるので応答性が良くなる。これにより、ガスを所望の温度に適切に制御することができ、高品質で均質な所望の材料の薄膜を効率よく形成することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

気化した成膜材料をキャリアガスと混合してチャンバに搬送し、当該チャンバ内に保持された基板に前記成膜材料の膜を形成する成膜装置であって、前記成膜材料を加熱して気化させ、前記キャリアガスと混合して材料ガスを生成する材料ガス生成手段と、前記キャリアガスを前記材料ガス生成手段へ搬送する第1の配管と、前記材料ガスを前記材料ガス生成手段から前記チャンバに搬送する第2の配管と、前記第1の配管および前記第2の配管の一方または両方に設けられ、前記第1の配管または前記第2の配管と接続されたガス流路を加熱する加熱手段を有する熱交換器とを有し、前記ガス流路は、前記ガス流路内を通過するガスが当該ガス流路周面に衝突するように、前記ガスの通過方向において折れ曲がって屈曲した形状を有することを特徴とする成膜装置。

IPC (4件)：

H05B33/10 , C23C14/12 , C23C14/24 , H05B33/14

FI (4件)：

H05B33/10 , C23C14/12 , C23C14/24 D , H05B33/14 A

Fターム (10件)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029AA09 , 4K029BA62 , 4K029BB02 , 4K029BC07 , 4K029CA01 , 4K029DB06 , 4K029DB14

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